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复合成型固化毡(PAN基、黏胶基)

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  • 产品描述
  • 具有较好的整体性和形状保持性、自支撑能力强、热稳定性良好,高温保温性能优异、耐腐蚀、纯度高,安装简便,易维护等。适用于大尺寸平板和异型构件。主要应用于单晶硅拉晶炉、粉末冶金工业炉、真空烧结炉、沉积炉等高温热处理设备。经过高纯化工艺处理,可达半导体行业标准要求,应用于各类晶体生长热工装备。

    技术指标 参考值
      P A N 基 黏胶基
    体积密度 (g/cm3)   0.18-0.25 0.16-0.20
    碳含量 (%)   ≥99 ≥99
    导热系数 (W/m·K)  ≤0.35 ≤0.30
    灰分 (ppm)   ≤ 50/20 ≤ 50/20
    抗压强度 (MPa)   1.0-3.0 1.0-2.5
    抗弯强度 (MPa)   1.8-3.2 1.5-3.0
    处理温度 (℃) ≥2300 ≥2300
    特殊要求 石墨涂层、贴布/贴纸、纯化

     

     

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